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- 电动高压泵F-EPH
- -在高精度定量放电性能和高精度恒流量性能中增加了高耐压。可以以较少的脉动施加抗蚀剂。实现狭缝应用的最佳性能。
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- 电动RT泵
- ● 使用新开发的RT结构的泵，尽管是管状火焰，但仍实现了高响应性。使用流体：光刻胶、纯水、化学溶液（无易燃物质）
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- 止回阀
- ● 氟树脂止回阀（止回阀）
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- 杠杆、针等。
- ● 氟树脂针阀、杠杆式开关阀、先导空气控制用速度控制器的产品阵容。
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- 超小型二通阀
- ● 超小型、最轻的气动隔膜式二通阀，适用于小流量化学溶液的控制。也使用 Frowell 80 系列配件。
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- 二通阀
- ● 适合控制小流量化学品的小系列产品阵容。还提供带有微调流量的差动螺杆式流量调节选项。
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- 三通阀
- ● 小系列适用于控制小流量化学品。只需改变配管方向，即可使用分配阀和选择阀。
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- 带回吸的气控阀
- ● 2通阀与背压阀一体化，节省空间。可选配带微调流量的差动螺杆式流量调节机构。
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- 回吸阀
- ● 配合气动阀使用，可防止药液滴落。回弹量可通过调节螺钉任意调节。
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- 电磁阀
- ● 小型电磁阀与氟树脂阀技术的融合。即使在没有先导气源的地方，也可以通过给电磁阀通电来轻松控制药液。
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- 高粘度阀门
- ● 背袋式气动阀增加了高粘度规格。采用特殊结构，可防止背囊启动时吸入负压产生气泡。
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- 流量2段切换阀
- ● 单阀可控制两种流量切换。无需构建复杂的电路，即可轻松切换流量。
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- 大流量阀/排水阀
- ● 大型气动阀和排水产品阵容。
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- 节气型（ELK系列）
- ● 吹气时吸入外部空气，抑制空气消耗的节气型。高频交流方式，从精密工件到宽幅工件均可消除静电。易于安装/拆卸放电针。与 CE 标志兼容。
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- 电动CT泵
- ● 用于微型半导体晶片的下一代电动泵和定量排出泵。我们开发了世界上第一个（注）CT泵结构，实现了高精度、低发尘、良好的消泡性和简单的结构。